真空热处理是将金属工件在 1个大气压以下(即负压下)加热的金属热处理工艺。

20世纪20年代末，随著电真空技术的发展，出现了真空热处理工艺，当时还仅用於退火和脱气。由於设备的限制，这种工艺较长时间未能获得大的进展。60～70年代，陆续研製成功气冷式真空热处理炉﹑冷壁真空油淬炉和真空加热高压气淬炉等，使真空热处理工艺得到了新的发展。在真空中进行渗碳，在真空中等离子场的作用下进行渗碳﹑渗氮或渗其他元素的技术进展，又使真空热处理进一步扩大了应用范围。

真空热处理的特点
金属零件在真空中的热处理能防止氧化脱碳并具有脱气效应，但金属元素可能蒸发。

•防止氧化脱碳 真空热处理炉的加热室在工作时处於接近真空状态，仅存在微量一氧化碳和氢气等，它们对於加热的金属是还原性的，不发生氧化脱碳的反应﹔同时还能使已形成的氧化膜还原，因此加热后的金属工件表面可以保持原来的金属光泽和良好的表面性能。

•脱气效应 金属零件在真空环境中加热时，金属中的有害气体，例如鈦合金中的氢和氧，会在高温下逸出，有利於提高金属的机械性能。

•金属元素蒸发 各种元素都有自身的蒸气压，如果环境中的压力低於某种元素的蒸气压，这种元素就会蒸发。在真空热处理时，应根据钢中所含合金元素的蒸气压来选择加热时的真空度或温度，以避免合金元素蒸发。